[发明专利]632.8纳米波长背入射式石英反射偏振分束光栅无效
| 申请号： | 200610024951.8 | 申请日： | 2006-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1821818A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 周常河;王博 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种632.8纳米波段的背入射式石英反射偏振分束光栅，该光栅的周期为281～286纳米、刻蚀深度为0.800～0.810微米、光栅的占空比为1/2时，偏振分束光栅的消光比大于100，TE偏振光的0级反射衍射效率和TM偏振光的1级反射衍射效率分别高于99.09％和99.73％，特别是光栅周期为283纳米，刻蚀深度为0.805微米时，本发明的偏振分束光栅的消光比达到2.07×104，TE偏振光0级反射衍射效率和TM偏振光1级反射衍射效率均接近于1；该偏振分束光栅在628～637纳米波长范围内消光比大于100，TE偏振光的0级反射衍射效率和TM偏振光的1级反射衍射效率分别高于99.13％和99.73％；在49.22°－51.02°角度带宽内消光比大于100，TE偏振光的0级反射衍射效率和TM偏振光的1级反射衍射效率分别高于99.99％和99.00％。 | ||
| 搜索关键词： | 632.8 纳米 波长 入射 石英 反射 偏振 光栅 | ||
【主权项】：
1、一种632.8纳米波段的背入射式石英反射偏振分束光栅，其特征在于该光栅的周期为281～286纳米、刻蚀深度为0.800～0.810微米，光栅的占空比为1/2。
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