[发明专利]有机电致发光屏电极的制作方法

摘要

一种有机电致发光屏电极的制作方法，在制作前电极的过程中，当刻制出透明电极条及其间隙之后，先不去掉覆盖在透明电极条上的光刻胶条，而是用溶剂溶解光刻胶条，使光刻胶条的长宽收缩，露出透明电极条的边缘。然后在其上面覆盖一层无机绝缘层，再将覆盖在透明电极条上的光刻胶条连同覆盖在它上面的绝缘层一起去掉，留下是包住透明电极条边缘和覆盖透明电极条之间间隙的绝缘层；制作背电极的过程中采用拉线模具和一次蒸镀制成背电极条的方法。比在先技术制作前后电极省去了二次光刻的工艺过程，缩短了制作电极的过程，提高了制作精度。

主权项

1、一种有机电致发光屏电极的制作方法，分为前电极和背电极的制作过程，其中前电极的制作过程是：<1>首先在发光屏的透明基片上覆盖一层透明导电膜；<2>在透明导电膜上涂上一层光刻胶层；<3>在上述的光刻胶层上置放上一掩膜板，并用紫外光源进行光刻，将光刻胶层刻制成光刻胶条；<4>对上述覆盖有光刻胶条的透明导电膜进行蚀刻，经蚀刻后留下覆盖有光刻胶条的透明电极条及透明电极条之间的间隙；其特征在于：<5>用溶剂溶解上述覆盖在透明电极条上的光刻胶条，使光刻胶条的长宽收缩，露出透明电极条的边缘；<6>在其上面覆盖一层无机绝缘层；<7>采用一般的去胶液或用激光去胶的方法，将覆盖在透明电极条上的光刻胶条及覆盖在它上面的无机绝缘层一起去掉，留下覆盖住透明电极条边缘和透明电极条之间间隙的无机绝缘层；所述的背电极的制作过程中，采用拉线模具和一次蒸镀的方法制作背电极条。