[发明专利]用于光刻机的数字可调双环电机控制器及其数字调节方法有效
| 申请号： | 200610023155.2 | 申请日： | 2006-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN1815873A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 林科;陈勇辉;陈锐;裴辛哲;巫琼 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H02P7/00 | 分类号： | H02P7/00;H02P7/18 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了用于光刻机的数字可调双环电机控制器及其数字调节方法，其特征在于，还包括与双环电路连接的数字调节部分，数字调节部分与双环中的各增益参数和积分参数控制连接，以使所述电流环和速度环的增益参数、积分参数和反馈增益数字调节，其中增益参数和反馈增益参数通过数模转化芯片的电阻网络选择进行调节，而积分增益通过选择开关选择不同阻值的电阻而实现数字调节，使得伺服环参数可以获得精确调节，有了更宽的调节范围。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 数字 可调 电机 控制器 及其 调节 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于光刻机的数字可调双环电机控制器，包括电流环电路和速度环电路，因而构成双环PI控制器，其特征在于，还包括与双环电路连接的数字调节部分，数字调节部分与双环中的各增益参数和积分参数控制连接，以使所述电流环和速度环的增益参数、积分参数和反馈增益数字调节，其中增益参数和反馈增益参数通过数模转化芯片的电阻网络选择进行调节，而积分增益通过选择开关选择不同阻值的电阻而实现数字调节。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610023155.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：直流对直流升压转换装置及方法
- 下一篇：治疗银屑病的药物
