[发明专利]一种自动对准装置无效
申请号: | 200610023154.8 | 申请日: | 2006-01-06 |
公开(公告)号: | CN1794096A | 公开(公告)日: | 2006-06-28 |
发明(设计)人: | 徐兵;闫岩;王鹏程 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种自动对准装置,具有一个照明光源,该照明光源通过照明光纤将照明光源的出射光导入到标记照明单元,该标记照明单元将光线均匀地投射到所要照明的用于对准的标记上;一个标记成像单元将标记成像并投射到标记摄影装置靶面上,该标记摄影装置接收标记的像,经图像处理单元处理后将计算得到的位置误差传送给运动控制装置。本发明实现了掩模和曝光对象之间的高精度位置对准。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 对准 装置 | ||
【主权项】:
1、一种自动对准装置,其特征在于它具有一个照明光源,该照明光源通过照明光纤将照明光源的出射光导入到标记照明单元,该标记照明单元将光线均匀地投射到所要照明的用于对准的标记上;一个标记成像单元将标记成像并投射到标记摄影装置靶面上,该标记摄影装置接收标记的像,经图像处理单元处理后将计算得到的位置误差传送给运动控制装置。
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