[发明专利]一种自动对准装置无效

专利信息
申请号: 200610023154.8 申请日: 2006-01-06
公开(公告)号: CN1794096A 公开(公告)日: 2006-06-28
发明(设计)人: 徐兵;闫岩;王鹏程 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 王洁
地址: 201203上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种自动对准装置,具有一个照明光源,该照明光源通过照明光纤将照明光源的出射光导入到标记照明单元,该标记照明单元将光线均匀地投射到所要照明的用于对准的标记上;一个标记成像单元将标记成像并投射到标记摄影装置靶面上,该标记摄影装置接收标记的像,经图像处理单元处理后将计算得到的位置误差传送给运动控制装置。本发明实现了掩模和曝光对象之间的高精度位置对准。
搜索关键词: 一种 自动 对准 装置
【主权项】:
1、一种自动对准装置,其特征在于它具有一个照明光源,该照明光源通过照明光纤将照明光源的出射光导入到标记照明单元,该标记照明单元将光线均匀地投射到所要照明的用于对准的标记上;一个标记成像单元将标记成像并投射到标记摄影装置靶面上,该标记摄影装置接收标记的像,经图像处理单元处理后将计算得到的位置误差传送给运动控制装置。
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