[发明专利]微针头的制造方法无效
| 申请号： | 200610023143.X | 申请日： | 2006-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN1817783A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王连卫;汪潇;陈晓明;孙卓 | 申请（专利权）人： | 上海纳晶科技有限公司;华东师范大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;A61M5/32;A61M5/158 |
| 代理公司： | 上海三方专利事务所 | 代理人： | 吴干权 |
| 地址： | 201109*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及医疗器械和生物材料应用技术领域，具体的说是一种微针头的制造方法，其工艺步骤为：硅的微机械方法设计制作实心模具：首先制作腐蚀微针头模具所需的掩模，掩模材料采用厚度为1－3微米的厚氧化硅或Si3N4；通过光刻确定掩模的图形和微针头的中心位置；采用100晶向的Si制作针头硅模具、模具表面处理、电镀、针头和模具的分离工艺。本发明与现有技术相比，工艺简单，针头模具可反复使用，成本低廉，极具实用价值，值得推广。 | ||
| 搜索关键词： | 针头 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微针头的制造方法，其特征在于工艺步骤为：(1)硅的微机械方法设计制作实心模具：(a)首先制作腐蚀微针头模具所需的掩模，掩模材料采用厚度为1-3微米的厚氧化硅或Si3N4；(b)通过光刻确定掩模的图形和微针头的中心位置；(c)采用100晶向的Si制作针头硅模具；(2)模具表面处理；(3)电镀；(4)针头和模具的分离工艺。
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