[发明专利]大型平板显示器的检测系统无效
| 申请号： | 200610023125.1 | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1995986A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 金刚 | 申请（专利权）人： | 元中光学仪器国际贸易（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01M19/00;G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈学雯 |
| 地址： | 200122上海市外高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 大型平板显示器的检测系统，包括机座，固定在机座上并向上伸展出去的机头，还包括安装在机座平台上的移动台，所述移动台可以沿X－Y方向移动；安装在机头上的显微镜检测装置，所述显微镜检测装置可以进行升降。将需要检测的大型平板显示器全部安装的放置在移动台上，移动台通过横移丝杆滚珠机构和纵移丝杆滚珠机构实现X－Y方向移动。达到检查的目的。本发明提高了移动的精度和平稳性。同时样品在观察测量的过程中本身不需要移动，因而减少了损坏和划伤的可能性。显微镜测量装置可以上下移动，实现了大尺寸下显微镜高倍观察和小尺寸测量。本发明的显微镜测量装置可部分使用全电动装置并具有独立的影象和测量系统。本发明比较适合大型液晶基板的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 大型 平板 显示器 检测 系统 | ||
【主权项】：
1、大型平板显示器的检测系统，包括：一机座，一固定在机座上并向上伸展出去的机头，其中还包括：一安装在机座平台上的移动台，所述移动台可以沿X-Y方向移动；一安装在机头上的显微镜检测装置，所述显微镜检测装置可以进行升降。
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