[发明专利]一种气体传感器及其阵列有效
| 申请号： | 200610022017.2 | 申请日： | 2006-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN1936564A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈向东;严俊 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;H01L21/00 |
| 代理公司： | 成都博通专利事务所 | 代理人： | 陈树明 |
| 地址： | 610031四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种气体传感器及其阵列，气体传感器的组成为：硅基片(1)的背面制作有一杯状空腔(2)，杯状空腔(2)的顶部为硅应变膜片(3)；硅应变膜片(3)中分布有四个应变电阻(5、6、7、8)并相连构成惠斯通电桥；硅应变膜片(3)的上表面附着有对被测气体敏感的聚合物薄膜(4)。该种气体传感器体积小、易于集成和批量生产，工作时无需加热，功耗低、可检测多种有机气体。以该种传感器为单元，多个传感器单元集成于一块芯片上构成气体传感器阵列，有利于改善气体传感器的选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 及其 阵列 | ||
【主权项】：
1、一种气体传感器，其组成为：硅基片(1)的背面制作有一杯状空腔(2)，杯状空腔(2)的顶部为硅应变膜片(3)；硅应变膜片(3)中分布有四个应变电阻(5、6、7、8)并相连构成惠斯通电桥；惠斯通电桥的四个应变电阻(5、6、7、8)的位置分布应使：硅应变膜片(3)没有应变时，惠斯通电桥平衡，硅应变膜片(3)有应变时，惠斯通电桥失衡；硅应变膜片(3)的上表面附着有对被测气体敏感的聚合物薄膜(4)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西南交通大学，未经西南交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610022017.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：检测修复系统及检测修复方法
- 下一篇：带有压电微驱动机构的磁头弹簧片组件
