[发明专利]可调谐等离子体谐振腔

摘要

本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的可调谐等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体的两端设置截止波导，其不同之处在于在圆柱型谐振腔腔体的一端安设调谐活塞，调谐活塞的中部开设通孔，后端延伸至圆柱型谐振腔壳体外端。本发明通过在谐振腔设置调谐活塞，能使波导装置很好地与谐振腔负载匹配，实现能量耦合的实时控制；这有助于提高PCVD工艺的加工精度和效率，避免微波对系统器件的损坏，提高等离子体谐振腔微波系统的有效使用寿命；本发明的场结构稳定，无极化兼并模式，损耗小，Q值高。本发明还具有结构简单，性能稳定，便于加工和制作的特点。

主权项

1、一种可调谐等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体的两端设置截止波导，其特征在于在圆柱型谐振腔腔体的一端安设调谐活塞，调谐活塞的中部开设通孔，后端延伸至圆柱型谐振腔壳体外端。