[发明专利]一种稳定的液体靶激光等离子体光源

摘要

一种稳定的液体靶激光等离子体光源，属于软X射线－极紫外光学技术领域中涉及的一种激光等离子体光源。要解决的技术问题是：提供一种稳定的液体靶激光等离子体光源。解决技术问题的技术方案包括激光束、聚光透镜、喷嘴、压电陶瓷振子、半导体致冷器、金属制冷管等部件。该光源分为上、下两部分，上部为金属制冷管和半导体致冷器制冷组成的制冷系统，下部为与金属制冷管相通的阀门；金属制冷管使流向阀门的气体变成液体，并由喷嘴喷入真空靶室形成液体靶。在窗口外侧置有光轴垂直于真空靶室窗口的聚光透镜，激光束经聚光透镜和真空靶室窗口聚焦在从喷嘴喷出的液体上，形成激光等离子体，产生软X射线－极紫外光辐射。

主权项

1.一种稳定的液体靶激光等离子体光源，包括压电陶瓷振子、密封杆、入气口、绝缘杆、阀体、弹簧、密封杆阀尖、喷嘴入口、制冷管、真空靶室、喷嘴、真空泵、聚光透镜、激光束、真空靶室窗口、喷嘴出口、阳极；其特征在于还包括密封圈(39)、(40)、螺栓(41)、绝热板(42)、致冷器支架(43)、半导体致冷器(44)、传热金属(47)、真空靶室法兰(48)、真空靶室壳体(50)；该光源分为两部分，上部为制冷系统，下部为阀体和真空靶室系统；上部由绝缘板(42)形成的腔体包围着；上、下两部分通过金属法兰(38)、绝热板(42)的腔体下开口平直沿和真空靶室法兰(48)用螺栓(41)固连在一起；在金属法兰(38)的下凹槽内置有密封圈(39)；在真空靶室法兰(48)的端部槽内置有密封圈(40)；在绝缘板(42)内装有致冷器支架(43)，致冷器支架(43)的上端与绝缘板(42)的顶部固连，绝缘板(42)的顶部中心开有孔，金属制冷管(46)的入气口(45)穿过中心孔伸向绝缘板(42)的外部，金属制冷管(46)位于致冷器支架(43)中心对称位置，金属制冷管(46)的侧面是传热金属(47)，两者紧密接触，传热金属(47)的下端与金属法兰(38)固连，在传热金属(47)的外侧装有半导体致冷器(44)，它与致冷器支架(43)固连，金属制冷管(46)的下端通过金属法兰(38)上的孔与阀体(37)相通，在阀体(37)的腔内，装有复位弹簧(36)，复位弹簧(36)的上面中心位置垂直固连装有绝缘杆(34)，在复位弹簧(36)的下面装有压缩弹簧(35)，复位弹簧(36)和压缩弹簧(35)都固定在阀体(37)上；压电陶瓷振子(33)的两端固定在压缩弹簧(35)上，密封杆(32)在压电陶瓷振子(33)下面并与其垂直固定在压电陶瓷振子(33)的中心处，在压电陶瓷振子(33)的作用下，产生上下位移，密封杆的阀尖(31)对准喷嘴入口(30)，密封杆的阀尖(31)下落时可以封住喷嘴入口(30)，密封杆的阀尖(31)向上移动，喷嘴入口(30)畅通；阳极(49)固定在阀体(37)上，并与阀体(37)绝缘，阀体(37)用作阴极；真空泵(27)和真空靶室(29)相通，在真空靶室壳体(50)上开有真空靶室窗口(25)，在窗口外侧置有聚光透镜(24)，聚光透镜(24)的光轴垂直于真空靶室窗口(25)，激光束23经聚光透镜(24)和真空靶室窗口(25)聚焦在从喷嘴出口(26)喷出的液体上。