[发明专利]共振隧穿仿生矢量水声传感器

摘要

本发明涉及一种水声传感器，具体是共振隧穿仿生矢量水声传感器。解决了现有水声传感器的灵敏度和分辨率等指标的提高已达到检测的极限状态，从而限制检测精度提高的问题，该共振隧穿仿生矢量水声传感器，由半导体衬底及其上通过分子束外延技术、微机电器件MEMS加工工艺加工出的共振隧穿二极管、和其密度与水的密度相同或相近的微型柱状体构成，半导体衬底中部采用半导体体刻蚀技术刻蚀成十字形悬臂梁结构，微型柱状体固定于十字形悬臂梁的中央，共振隧穿二极管分别设置于十字形悬臂梁四梁上的端部。本发明采用纳米级器件制成，突破了常规微机电器件的极限，模拟鱼类侧线听觉器官的工作原理，最终以单个传感器实现了对水下声源声强的测量。

主权项

1、一种共振隧穿仿生矢量水声传感器，其特征在于由半导体衬底(1)及其上通过分子束外延MBE技术、微机电器件MEMS加工工艺加工出的共振隧穿二极管(2)、和其密度与水的密度相同或相近的微型柱状体(4)构成，半导体衬底(1)中部采用半导体体刻蚀技术刻蚀成十字形悬臂梁结构，微型柱状体4固定于十字形悬臂梁(3)的中央，共振隧穿二极管(2)分别设置于十字形悬臂梁(3)四梁上的端部。