[发明专利]高稳定能量过滤电子显微像的接收方法及装置

摘要

高稳定能量过滤电子显微像的接收方法及装置，属于能量过滤电子显微成像技术领域。本发明通过漂移探测反馈方法消除由高压波动或电磁波干扰等导致的具有不同能量电子的空间分布相对能量选择狭缝的漂移，从而使能量过滤像接收装置在信号采集时间段内始终保持过滤电子的能量稳定，然后调节能量选择狭缝宽度，仅使包含样品激发特征谱信息的能量区段信号通过，通过累积获得具有高空间分辨或高能量分辨的能量过滤像。

主权项

1.一种高稳定能量过滤电子显微像的接收方法，其特征在于该方法按如下步骤进行：1)电子束从样品透射或从样品表面反射获得反映样品信息的电子波，利用电子光学透镜或电子光学透镜组将该电子波聚焦成像，该电子波是由在样品中损失了不同能量的电子组成；2)利用能量分析仪将所述电子波按其能量大小在能量分析仪后的能量色散面上形成空间分布；3)置于能量色散面或共轭位置的电子束位置探测器在周期性扫描信号的激励下，反复采集对应特定能量区段的电子束空间分布信息，形成时域上强度变化的周期性谱信号，然后将这些时域上强度变化的信号连同周期性的激励信号一起送到漂移检测系统中；漂移检测系统提取一个采样周期内的谱信号作为参考信号，并将以后采集周期提取的谱信号与该参考信号进行比较，计算其差值作为能量漂移量送入反馈控制器；反馈控制器对漂移检测系统输出的时域漂移量进行计算，产生校正能谱漂移的反馈控制信号，并将该控制信号反馈到前端以实现电子束在能量分散色散面上的空间分布位置的稳定；4)调节能量选择狭缝宽度，仅使包含样品激发特征信息的能量区段内的电子通过；5)利用另一个电子光学透镜或电子光学透镜组将步骤4)中通过能量选择狭缝的电子转化为高稳定能量过滤电子显微图像并由一个二维探测器接收。