[发明专利]利用腔内自适应光学技术改善固体激光器光束质量的装置

摘要

利用腔内自适应光学技术改善固体激光器光束质量的装置，由He－Ne激光器、变密度衰减盘，扩束系统、变形镜、固体激光器的增益介质、匹配扩束凹镜、分光镜、输出耦合镜、哈特曼波前传感器、功率计、高压放大器，高速处理机以及主控计算机组成，He－Ne激光器发出的信标光被凹镜引入到固体激光器的增益介质中，通过分光镜分出两路信号，一路经过输出耦合镜用来耦合输出固体激光器激光光束；另一路由哈特曼波前传感器实时探测腔内像差信息，并通过高速处理机运算处理后得到相应的电压控制信号，把该电压施加到变形镜驱动器上，使其能够实时补偿固体激光器的腔内像差。本发明能够自适应地校正腔内像差，实时性好，有效地改善了固体激光器的输出光束质量，提高了输出光束的远场光斑能量集中度。

主权项

1、利用腔内自适应光学技术改善固体激光器光束质量的装置，其特征在于：主要由He-Ne激光器、变密度衰减盘，扩束系统、变形镜、固体激光器的增益介质、匹配扩束凹镜、分光镜、输出耦合镜、哈特曼波前传感器、功率计、高压放大器，高速处理机以及主控计算机组成，He-Ne激光器发出的信标光经过变密度衰减盘后，再经扩束系统被凹镜引入到固体激光器的谐振腔内的增益介质中，然后通过分光镜分出两路信号，一路经过输出耦合镜用来耦合输出固体激光器激光光束，再由功率计用作实时测量固体激光器的输出功率；一路由哈特曼波前传感器实时探测腔内像差信息，通过高速处理机接收哈特曼波前传感器探测到的腔内像差信息，并进行波前斜率计算，波前复原和波前控制运算，得到相应的电压控制信号，该电压信号在主控计算机控制下经过高压放大器放大后把变形镜校正像差所需要的电压施加到变形镜驱动器上，使变形镜能够实时补偿固体激光器的腔内像差。