[发明专利]载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法无效
| 申请号： | 200610009405.7 | 申请日： | 2006-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN1824458A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | 小林雄二;中森靖仁 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B23Q1/25 | 分类号： | B23Q1/25;B23Q1/72;B23Q5/22;B23Q17/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明以可修正梁相对工作台的平行度为课题，提供载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法。载物台装置(10)为使作为工件的基板(11)沿水平方向移动的被称为“龙门型”的载物台装置，具有基座(12)、沿Y方向可移动地设置在基座上的工作台(14)、固定在基座上的门型龙门部(16)、控制工作台沿Y方向移动并进行龙门部在Z方向上的高度调整控制的控制装置(17)。龙门部具有横架在工作台上方的梁(18)和支持梁两端部的一对Z轴驱动机构(20)。并且，梁上设置有测量与工作台的距离的一对Z方向传感器(21A、21B)。通过驱动Z轴驱动机构使Z方向传感器测量到的值相等来使梁处于与工作台的上面平行的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 装置 龙门 型载物台 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种载物台装置，其特征在于，具备：在上面安放工件的工作台；竖立在该工作台两侧的一对Z轴驱动机构；在上述工作台的上方横架在上述一对Z轴驱动机构之间的梁；相对于上述一对Z轴驱动机构可旋转地支持该梁两端部的一对旋转支持部。
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