[发明专利]薄膜晶体管、有机电致发光显示元件及其制造方法

摘要

一种薄膜晶体管的制造方法，其包含下列步骤：首先，于基板上形成栅极；之后，于基板上形成栅绝缘层，以覆盖此栅极；接着，于栅绝缘层上形成源极/漏极层，此源极/漏极层暴露出栅极上方之部分的栅绝缘层；继之，于源极/漏极层上形成绝缘层，此绝缘层具有开口，以暴露出栅极上方之部分的栅绝缘层与部分的源极/漏极层；最后，于绝缘层之开口中形成通道层，使通道层与源极/漏极层电连接，且通道层由上述开口中暴露出来。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制造方法，其特征是包括：于基板上形成栅极；于该基板上形成栅绝缘层，以覆盖该栅极；于该栅绝缘层上形成源极/漏极层，该源极/漏极层暴露出该栅极上方之部分该栅绝缘层；于该源极/漏极层上形成绝缘层，该绝缘层具有开口，以暴露出该栅极上方之部分该栅绝缘层与部分该源极/漏极层；以及于该绝缘层之该开口中形成通道层，使该通道层与该源极/漏极层电连接，且该通道层由该开口中暴露出来。