[发明专利]用于沉积系统的喷射室的驱动轴及具有该驱动轴的沉积系统有效
| 申请号： | 200610002584.1 | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1800438A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 郑星和;姜有珍 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗正云;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了用于沉积系统的装置，包括将驱动轴与沉积材料之间密封以避免沉积材料粘在驱动轴上的密封装置，降低支架在驱动轴上的重量的移动装置，和测量支架和相邻物之间距离的碰撞防止装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 系统 喷射 驱动 具有 | ||
【主权项】：
1、一种用于沉积系统的驱动轴的密封装置，包括：支架，包括：与安装在沉积系统的真空室中的驱动轴连接的联轴部分，包括狭缝的连接部分，该连接部分与所述联轴部分相连，和与所述连接部分相连的支撑板，该支撑板支撑真空室中的喷射有机蒸汽材料的喷射室；部分地围绕该驱动轴的中空梁，该梁包括一个开口侧，以便支架可以沿着驱动轴移动；以及穿过狭缝设置的防护板。
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