[发明专利]一种探测波长在红外至远远红外光的探测器及制法

摘要

本发明提供了一种基于纳米银颗粒掺杂的ZnO薄膜制作的探测器，包括：一基底，在基底上生长一层纳米银颗粒掺杂的ZnO薄膜，其特征在于，还包括尺寸大小为纳米量级的银颗粒，该银颗粒镶嵌在ZnO膜上；其中ZnO膜厚度在10纳米～10微米；银颗粒尺寸在1～200纳米；第一电极和第二电极设置在ZnO膜上，第一电极引线和第二电极引线连接在电极上，并且在两个电极引线之间并联一电阻，两个电极引线的末端连接电压测试设备。该探测器在波长800nm－100μ光照射下可以获得25－100毫伏以上的直接光生伏特信号。

主权项

1.一种探测波长在红外至远远红外光的探测器，包括：一基底(8)，在基底(8)上生长一层ZnO薄膜层(1)；其特征在于，所述的ZnO薄膜层(1)为纳米银颗粒掺杂的ZnO层，ZnO薄膜层(1)厚度在10纳米～10微米；其中ZnO薄膜层(1)内银颗粒的尺寸在1～100纳米，纳米尺寸的银颗粒与ZnO为Zn和Ag的原子比为：5∶1～100∶1；第一电极(2)和第二电极(3)设置在纳米银颗粒掺杂的ZnO薄膜层上，第一电极引线(5)和第二电极引线(4)分别连接在第一电极(2)和第二电极(3)上，并且在两个电极引线之间并联一电阻(6)，两个电极输出端连接放大电路或电压测试设备(9)。