[发明专利]氮化镓系半导体的成长方法有效
申请号: | 200610001595.8 | 申请日: | 2006-01-24 |
公开(公告)号: | CN101009339A | 公开(公告)日: | 2007-08-01 |
发明(设计)人: | 陈政权;陈铭章;洪昆明 | 申请(专利权)人: | 新世纪光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/20 |
代理公司: | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王昭林;崔华 |
地址: | 中国台湾台南县善化*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种氮化镓系半导体的成长方法,用于提供一个制造固态半导体发光装置所需要的基础,该成长方法包含下列步骤:提供一块基材,在该基材上形成多个间隔散布的氮化镓系材料的岛状凸块,在上述岛状凸块上形成一层由氮化镓系为主的材料所制成的基础层;借由提供该具有低缺陷密度基础层,使该固态发光装置可形成于该基础层上,因此可以降低发光装置的缺陷密度,提高发光装置的发光效率。 | ||
搜索关键词: | 氮化 半导体 成长 方法 | ||
【主权项】:
1.一种氮化镓系半导体的成长方法,其特征在于该成长方法包含下列步骤:(i)提供一块基材;(ii)在该基材上形成多个间隔散布并且由氮化镓系材料制成的岛状凸块;以及(iii)在上述岛状凸块上形成一层由氮化镓系为主的材料所制成的基础层。
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