[发明专利]坐标检测装置及被检测体检查装置无效
| 申请号： | 200610001075.7 | 申请日： | 2006-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1808055A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 加藤洋 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈坚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明将点光直接照射在被检测体上，稳定地检测出高精度的坐标位置。在被检测体检查装置的摆动保持架(9)上承载玻璃基板(8)，并设置有可在该玻璃基板(8)的表面上沿X轴方向移动的导向杆(40)。在导向杆(40)上设置有用于向玻璃基板(8)的缺陷照射点光的激光头(44)，并使该激光头(44)可通过第二带(42)沿Y轴方向移动。点光的光束以角度α照射。在进行宏观观察时，通过操作部使导向杆(40)与激光头(44)沿X轴和Y轴方向移动，从而使玻璃基板(8)上的点光移动到缺陷上。以此时各电动机的驱动量作为位置信息，通过坐标检测部求出坐标数据。使具有显微镜功能的观察部移动到坐标位置，以进行缺陷的微观观察。 | ||
| 搜索关键词： | 坐标 检测 装置 体检 | ||
【主权项】：
1.一种坐标检测装置，其特征在于，包括：用于保持被检测体的保持架；可在所述被检测体的表面上移动的导向部件；指示装置，其设置在该导向部件上，并可使照射在所述被检测体上的点光沿着与所述导向部件的移动方向交叉的方向移动；操作部，用于移动所述被检测体上的所述点光的照射位置；以及坐标检测部，用于根据与所述被检测体上的所述点光的所述照射位置有关的位置信息求出坐标数据。
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