[发明专利]沉积系统以及用于测量沉积系统的沉积厚度的方法有效
| 申请号： | 200610000429.6 | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1824829A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | 黄珉婷;李星昊 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52;H01L21/205;H01L51/56;G05D5/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗正云;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种测量沉积材料的沉积厚度的方法，包括利用传感器测量从喷射室喷射的材料的沉积率，以及利用采用所测量的沉积率和传感器的使用时间的寿命值作为参数的转化公式计算沉积在基板上的材料的沉积厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 系统 以及 用于 测量 厚度 方法 | ||
【主权项】：
1、一种确定沉积系统中的沉积厚度的方法，包括：测量从喷射室喷射的材料的沉积率，该测量由传感器执行；将所测量的沉积率传送给控制器；和利用转化公式计算沉积在基板上的材料的沉积厚度，该转化公式采用所测量的沉积率和该传感器的寿命值作为参数。
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