[发明专利]电子部件的取放机构、电子部件处理装置以及电子部件的吸附方法无效
| 申请号： | 200580049857.1 | 申请日： | 2005-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN101180548A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 增尾芳幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 取放机构(500)包括：直动型致动器(503)，其使支承吸附头(501)的支承部件(502)在上行程端和下行程端之间升降；伺服致动器(504)，其在支承部件(502)位于下行程端的状态下，连同直动型致动器(503)一起对支承部件(502)以及吸附头(501)进行速度控制而使其下降，使吸附头(501)与电子部件(2)接触。根据该取放机构(500)，可以极力减低用吸附头(501)吸附电子部件(2)时作用在该电子部件(2)上的冲击负荷。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 部件 机构 处理 装置 以及 吸附 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子部件的取放机构，该取放机构用于在电子部件试验装置中用吸附头吸附并提升电子部件而使之移动后、将电子部件放置在规定位置上，其特征在于，装备有：直动型致动器，该直动型致动器使支承所述吸附头的支承部件在上行程端和下行程端之间升降；以及伺服致动器，该伺服致动器是使所述支承部件以及所述吸附头连同所述直动型致动器一起升降的伺服致动器，至少能够控制下降方向的动作的速度。
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