[发明专利]同时相移的斐索干涉仪有效
| 申请号： | 200580047333.9 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101111739A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 詹姆士·E·弥尔勒德;詹姆士·C·怀恩特 | 申请（专利权）人： | 4D技术公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘莉婕;郑立 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 利用斐索干涉仪的参考和测试镜(24，26)之间的倾斜关系以在空间上分离来自两个表面的反射(R，T)。分离的光束(R，T)通过为该光束提供不同的偏振状态的空间偏振元件(32)而得到过滤。该光束(R，T)随后被重新结合以形成大体共线的光束，该共线光束利用允许在单个视频帧中进行定量的相位测量的空间相位干涉仪(44)得到处理。可选地，具有正交偏振的两个光束(104，106)在不同的角度射入斐索腔(20)，使得它们在从参考和测试镜片(24，26)反射之后大体共线。不需要的反射通过使用圆孔(112)在焦平面上被阻断。短相干长度的光和延迟线(84)可以用于减轻散射、减少测量积分次数且进行暂时相位平均。 | ||
| 搜索关键词： | 同时 相移 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种联接到空间相移干涉仪模块的光学装置，用于表征在光学腔内相对于参考表面以一倾斜角度设置的测试表面，其中输入光束由所述测试和参考表面反射以产生相应的测试和参考光束，该光学装置包括：用于产生所述测试和参考光束之间的空间分离的装置；用于以各自正交的偏振状态偏振所述测试和参考光束的装置；以及用于消除该测试和参考光束之间的所述空间分离并且用于在准直光束中产生其组合的装置。
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