[发明专利]中继连接构件、检查装置以及中继连接构件的制造方法

摘要

本发明的目的在于实现可应对检查对象的端子狭小化，同时可充分确保与检查对象的电连接以及内部的电连接的检查装置。该检查装置具有：探针(3)；保持探针(3)的探针保持具(4)；通过探针(3)对检查对象(1)输出检查信号的检查电路(5)；以及对探针(3)与检查电路(5)进行电连接的中继连接构件(6)。中继连接构件(6)具有：第一连接构件(8)，其具备第一配线构造(11、12)，该第一配线构造与探针(3)电连接，相邻的第一配线构造彼此形成于不同的层上；以及第二连接构件(9)，其具有第二配线构造(16)，该第二配线构造与检查电路(5)所具备的配线构造(7)电连接且形成于同一层上。中继连接构件(6)由于具备适于与探针(3)连接的第一连接构件(8)；以及适于与检查电路(5)连接的第二连接构件(9)，而可以实现对两者的良好的电导通。

主权项

1.一种中继连接构件，在对规定的检查对象进行检查时，所述中继连接构件对一端与形成在所述检查对象上的多个端子接触的多个探针的另一端、与输出所述检查使用的检查信号的检查电路之间进行电连接，所述中继连接构件的特征在于，具有：第一连接构件，其形成有多个第一配线构造，所述第一配线构造在各自的一端与多个所述探针的另一端电连接，邻接的所述第一配线构造彼此位于不同的层上，另一端以规定长度以上的长度露出于表面；以及第二连接构件，其在同一层上形成有多个第二配线构造，所述第二配线构造在一端与只以规定长度露出于表面的所述第一配线构造的另一端接触，在另一端与所述检查电路电连接。