[发明专利]用于均匀化基于激光二极管的单轴照明系统的单轴光导管无效
| 申请号： | 200580040287.X | 申请日： | 2005-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101065694A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 布鲁斯·E·亚当斯;迪安·詹宁斯;阿布拉什·马约尔;维吉·帕里哈;约瑟夫·M·拉内什 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00;H01L21/268;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;陈红 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于处理半导体晶圆的装置，包括：设置在沿着慢轴延伸的多个平行的行上的半导体激光发射器阵列；多个单独的圆柱形透镜，其设置在激光发射器的行的各自其中之一之上，并用于沿着通常与慢轴垂直的快轴准直来自各自行的光；均匀化的光导管，其具有用于在第一端部接收由多个圆柱形透镜准直的光的输入面以及位于相对端的输出面，光导管包括一对在输入面和输出面之间延伸并且沿着慢轴的方向彼此分开的反射表面；以及扫描装置，其用于使得发射自均匀化光导管的光在与快轴平行的扫描方向上扫描晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 均匀 基于 激光二极管 照明 系统 单轴光 导管 | ||
【主权项】：
1.一种热处理系统，包括：激光发射源，其发出激光波长的光并且包括多个形成在衬底上的激光二极管，并且从沿着第一轴设置的发射器区域沿着光轴发射；以及单轴光导管，其具有沿着所述第一轴相对于所述光轴分离的反射壁，其中所述光轴在所述反射壁之间通过。
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