[发明专利]探测物体的运动的光学系统无效
| 申请号： | 200580039833.8 | 申请日： | 2005-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN101061371A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 雷纳图斯·G.·克拉韦尔;约翰·C.·康普特;皮特·范德梅尔 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/38 | 分类号： | G01D5/38;G03F9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于探测物体(2)的运动的系统(1)，所述物体包括第一衍射图案(3A)和相对于所述第一衍射图案具有预定取向的第二衍射图案(3B)。所述系统包括：光学装置(4A，4B)，其用于向所述第一衍射图案至少提供第一入射光束，从而从所述第一衍射图案获得第一衍射光束，以及以相对于所述第一入射光束的预定取向向所述第二衍射图案至少提供第二入射光束，从而从所述第二衍射图案获得第二衍射光束。所述系统具有用于基于所述第一衍射光束和所述第二衍射光束的至少其中之一探测所述物体的运动的装置。因此，获得了用于探测物体(2)的运动的更大的平面内旋转范围。本发明还涉及一种设有二维衍射图案(3A，3B)的晶片(2)和用于探测所示物体的运动的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 探测 物体 运动 光学系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于探测物体(2)的运动的系统(1)，所述物体包括第一衍射图案(3A)和相对于所述第一衍射图案具有预定取向的第二衍射图案(3B)，其中，所述系统包括：光学装置(4A，4B)，其适于向所述第一衍射图案至少提供第一入射光束(5)，从而从所述第一衍射图案获得第一衍射光束(6)，以及以相对于所述第一入射光束的预定取向向所述第二衍射图案至少提供第二入射光束(7)，从而从所述第二衍射图案获得第二衍射光束(8)；用于基于所述第一衍射光束和所述第二衍射光束的至少其中之一探测所述物体的运动的装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇家飞利浦电子股份有限公司，未经皇家飞利浦电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580039833.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
