[发明专利]抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200580037292.5 | 申请日： | 2005-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101048704A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | S·胡;S·马格苏迪;E·S·梅尔 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张钦 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种抗蚀剂组合物，它包含(A)氢倍半硅氧烷树脂，(B)含酸可解离的基团的化合物，(C)光致产酸剂，(D)有机溶剂，和任选地(E)添加剂。该抗蚀剂组合物具有适合于作为光致抗蚀剂的改进的平版印刷性能(例如高的抗蚀性、透光度、分辨率、灵敏度、聚焦高度、线边缘粗糙度和粘合性)。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂组合物，它包含(A)氢倍半硅氧烷树脂，(B)含酸可解离基团的化合物，(C)光致产酸剂，和(D)有机溶剂。
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