[发明专利]工艺参数均值相对于期望值的级联控制

摘要

一种多层控制器(610)，其用于指导进行某种工艺的系统(620)的运行。所述工艺具有多工艺参数(MPPs)(625)，MPPs(625)中的至少一个是可控工艺参数(CTPP)(615)并且MPPs(625)中的一个是目标工艺参数(TPP)(625)。所述工艺还具有限定的目标值(DTV)，其表示对在长度TPL_AAV2的限定时间周期内的TPP(625)的实际均值(AAV)的第一限制。在限定周期内基于TPP的实际值(AVs)计算AAV。第一逻辑控制器(630)预测在第一未来时间周期(FFTP)内的TPP(625)的未来均值(FAVs)，所述第一未来时间周期的长度为至少TPL_AAV2并且从当前时间T₀延伸至未来时间T_AAV2，在其之前，TPP(625)将移动到稳态。基于(i)在第一在先时间周期(FPTP)内的各个时间的TPP(625)的AAVs，所述第一在先时间周期的长度至少为TPL_AAV2并且从在先时间T_－AAV2延伸至当前时间T₀，(ii)MPPs(625)的当前值，和(iii)DTV，来预测FAVs。第二逻辑控制器确定第二未来时间周期(SFTP)的进一步的目标值(FTV)，其表示对TPP(625)的AAV的第二限制，SFTP的长度为TPL_AAV1，其小于长度TPL_AAV2，并且从当前时间T₀延伸至未来时间T_AAV1。基于一个或多个在FFTP内的预测的TPP的FAVs来确定FTV。第二逻辑控制器还，基于(i)在第二在先时间周期(SFTP)内的各个时间的TPP(625)的AAVs，所述第二在先时间周期的长度为TPL_AAV1并且从在先时间T_－AAV1延伸至当前时间T₀，(ii)MPPs(625)的当前值，和(iii)FTV，来确定每一个CTPP(615)的目标设定点。第二逻辑控制器还具有逻辑以根据CTPP(615)的确定的目标设定点来指导控制每一个CTPP(615)。

主权项

1.一种多层控制器，其用于指导进行某种工艺的系统的运行，所述工艺具有多工艺参数(MPPs)，所述MPPs中的至少一个是可控工艺参数(CTPP)并且MPPs中的一个是目标工艺参数(TPP)，所述工艺还具有限定的目标值(DTV)，其表示对在长度TPLAAV2的限定时间周期内的TPP的实际均值(AAV)的第一限制，其中在限定周期内基于TPP的实际值(AVs)计算AAV，所述多层控制器包含：第一逻辑控制器，其具有逻辑以预测在第一未来时间周期(FFTP)内的TPP的未来均值(FAVs)，所述第一未来时间周期的长度为至少TPLAAV2并且从当前时间T0延伸至未来时间TAAV2，在所述时间或在其之前，TPP将移动到稳态，其中，基于(i)在第一在先时间周期(FPTP)内的各个时间的TPP的AAVs，所述第一在先时间周期的长度至少为TPLAAV2并且从在先时间T-AAV2延伸至当前时间T0，(ii)MPPs的当前值，和(iii)DTV，来预测FA0Vs；和第二逻辑控制器，其具有逻辑(a)以确定第二未来时间周期(SFTP)的进一步的目标值(FTV)，其表示对TPP的AAV的第二限制，SFTP的长度为TPLAAV1，其小于长度TPLAAV2，并且从当前时间T0延伸至未来时间TAAV1，其中基于一个或多个在FFTP内的预测的TPP的FAVs来确定FTV，(b)以基于(i)在第二在先时间周期(SFTP)内的各个时间的TPP的AAVs，所述第二在先时间周期的长度为TPLAAV1并且从在先时间T-AAV1延伸至当前时间T0，(ii)MPPs的当前值，和(iii)FTV，来确定每一个CTPP的目标设定点，和(c)以根据CTPP的确定的目标设定点来指导控制每一个CTPP。