[发明专利]等离子体系统无效
| 申请号： | 200580036961.7 | 申请日： | 2005-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN101049053A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 利亚姆·奥奈尔;彼得·杜宾;沃尔特·卡斯塔格那 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁爱尔兰有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 爱尔*** | 国省代码： | 爱尔兰;IE |
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| 摘要： | 在等离子体处理表面的工艺中，在具有入口和出口的介电壳体内产生非平衡大气压等离子体，通过该壳体工艺气体从入口流向出口。在至少部分由介质材料形成的容管从壳体出口向外延伸，其中容管的末端形成等离子体出口。待处理的表面位于等离子体出口附近，使得表面与等离子体接触并相对于等离子体出口而移动。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子体处理表面的工艺，其特征在于非平衡大气压等离子体产生于具有入口和出口的介电壳体内，工艺气体从入口流向出口，至少部分由介电材料制成的容管从壳体的出口向外延伸，其中壳体的末端形成等离子体出口，待处理表面位于等离子体出口附近，以便表面与等离子体接触且相对于等离子体出口移动。
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