[发明专利]PVD敷金属系统的蒸发器体的制备和操作有效
| 申请号： | 200580035720.0 | 申请日： | 2005-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN101044256A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·尼恩贝格尔;鲁道夫·迈青格尔;乌尔里希·格茨 | 申请（专利权）人： | 斯泰克陶瓷有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾晋伟;刘继富 |
| 地址： | 德国哈*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于连续提供和蒸发金属的PVD敷金属系统中的蒸发器体的制备和操作。沉积在蒸发器体上的层结构与进料至金属的处在未烧结状态的可烧结粉末材料一起，以原料层结构的形式施加于蒸发器体，，并在敷金属循环中通过加热蒸发器体被烧结熔合在蒸发器体上。在敷金属过程中可以使用所述层结构，并且在每个敷金属循环后可以直接在敷金属系统中被替换。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 金属 系统 蒸发器 制备 操作 | ||
【主权项】：
1、一种制备蒸发器体例如陶瓷蒸发器体和在PVD敷金属系统中操作所述蒸发器体的方法，在所述方法中在所述蒸发器体上沉积至少一层的层结构，和实施敷金属循环，其中利用电流操作所述蒸发器体并连续供给金属，使得所述蒸发器体由于其电阻被加热，并且提供到所述层结构上的金属被液化和蒸发，所述方法的特征在于在所述蒸发器体操作中可消耗的层结构被用作层结构并在所述敷金属循环中通过加热所述蒸发器体而烧结在所述蒸发器体上，所述可消耗的层结构在所述敷金属循环之前作为可烧结粉末材料的原料层结构而沉积在所述蒸发器体上，所述可烧结粉末材料处于基本未烧结状态、或分散在低熔点粘结材料中处于基本未烧结状态。
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