[发明专利]打印头喷嘴形成无效
| 申请号: | 200580033765.4 | 申请日: | 2005-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN101035682A | 公开(公告)日: | 2007-09-12 |
| 发明(设计)人: | 陈振方;安德烈亚斯·拜布尔;保罗·A·霍伊辛顿 | 申请(专利权)人: | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 |
| 主分类号: | B41J2/16 | 分类号: | B41J2/16 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马高平;杨梧 |
| 地址: | 美国新罕*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 提供一种在微机电器件中形成喷嘴的技术。在层(500)键合到装置的另一部分(440)之前,在层(500)中形成喷嘴(460、566)。所述的键合前在层(500)中形成喷嘴(460、566)的方式使得可形成具有预定深度和预定几何形状的喷嘴(460、566)。为喷嘴(460、566)选择特定的几何形状可减小墨流阻抗并提高喷嘴(460、566)在整个微机电器件上的均匀性。 | ||
| 搜索关键词: | 打印头 喷嘴 形成 | ||
【主权项】:
1.一种形成器件的方法,包括:将凹部蚀刻到多层基板的喷嘴层的第一表面内,其中所述多层基板具有处理层;将喷嘴层的第一表面固定到具有腔室的基板上,使得凹部与腔室流体连通;和移除至少包括多层基板的处理层的多层基板的一部分,使得腔室通过凹部与大气流体连通。
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