[发明专利]纳米压印模具、形成纳米图案的方法和树脂模制品无效
| 申请号： | 200580030306.0 | 申请日： | 2005-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101014903A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 堀胜;平松美根男;加纳浩之;杉山徹;片山幸久;吉田怜 | 申请（专利权）人： | 堀胜;平松美根男;丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82B3/00;C23C16/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明改进了纳米压印过程中模具和树脂层的可脱模性，由此改进模具的耐用性。本发明涉及用于树脂模制的、包含位于其表面上的碳纳米壁层的纳米压印模具，使用该模具形成纳米图案的方法、和由该方法获得的树脂模制品。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 模具 形成 图案 方法 树脂 制品 | ||
【主权项】：
1.用于树脂模制的纳米压印模具，包含位于其表面上的碳纳米壁层。
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