[发明专利]螺栓脱落防止构造以及保持环

摘要

为了提供用于半导体制造装置、保持有必要的保持力、螺栓的拔出插入容易、且廉价的螺栓脱落防止构造以及保持环，在形成有使主体固定螺栓(10)贯通的螺纹通孔(12)的被固定体的、与和主体固定螺栓(10)头抵接的表面相反的一侧的表面形成有直径比螺纹通孔(12)大的座孔(12a)，通过在座孔(12a)上安装保持环(13)而防止主体固定螺栓(10)的脱落，所述保持环(13)，外周为圆筒形状，后端部的直径大于座孔(12a)的内径，前端部的直径与座孔(12a)的内径相同或更小，在前端部形成有与主体固定螺栓(10)的牙顶部扣合的螺栓扣合部(13a)。

主权项

1.一种螺栓脱落防止构造，其特征在于，在形成有使螺栓贯通的螺纹通孔的被固定体的、与和螺栓头抵接的表面相反的一侧的表面形成有直径比所述螺纹通孔大的座孔；通过外形的形状相对所述座孔保持，并在内部形成有与所述螺栓的牙顶部扣合的螺栓扣合部的保持环安装在所述座孔中，从而防止所述螺栓的脱落。