[发明专利]向晶体形成装置装载熔融源材料的熔化器组件和方法无效
| 申请号： | 200580028099.5 | 申请日： | 2005-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN101006205A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | J·D·霍尔德 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/02;C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 马江立;秘凤华 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种向用于形成晶体的晶体形成装置提供熔融源材料的装料的熔化器组件。该熔化器组件包括壳体和位于该壳体内的坩锅。一加热器相对于该坩锅设置以熔化接纳在坩锅内的固态源材料。坩锅具有喷嘴以控制熔融源材料的流动，以便可以选定的流量向晶体形成装置提供熔融源材料的定向流。还提供了一种向晶体形成装置装填熔融源材料的方法，以及一种利用单个熔化器组件服务于多个晶体形成装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 形成 装置 装载 熔融 材料 熔化 组件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于向晶体形成装置提供熔融源材料的装料的熔化器组件，包括：壳体；位于该壳体内的坩锅；相对于该坩锅设置的加热器，用于熔化被接纳在该坩锅内的固态源材料；该坩锅具有适于控制熔融源材料的流动的喷嘴，以便以选定的流量向该装置提供熔融源材料的定向流。
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