[发明专利]微细图案形成材料、微细光阻图案形成方法及电子装置

摘要

本发明提供一种微细图案形成材料，该微细图案形成材料的pH值超过7，含有水溶性树脂例如聚乙烯醇衍生物，水溶性交联剂例如三聚氰胺衍生物、尿素衍生物，胺化合物，非离子性表面活性剂及水或水与水溶性有机溶剂的混合溶液。将此微细图案形成材料涂布于光阻图案(3)来形成披覆层(4)，加热该披覆层(4)后显影形成交联披覆层(5)，当图案形成材料使用仲胺化合物及/或叔胺化合物时，与不添加胺的情况相比，交联披覆层的膜厚增大，相反地，当使用季胺化合物为胺化合物时，与不添加胺化合物相比，交联披覆层的膜厚减少。

主权项

1.一种微细图案形成材料，其为在光阻图案上施以涂布并经过热处理来产生交联反应，进行显影处理，在上述光阻图案上形成交联披覆层的材料，其特征在于：以水或水与水溶性有机溶剂的混合液当作溶剂，添加水溶性树脂、水溶性交联剂及胺化合物，比添加胺化合物前更能控制交联披覆层膜厚的增减，且溶液的pH值超过7。