[发明专利]光学特性测量装置及方法、曝光装置及方法及组件制造方法

摘要

提供一种光学特性测量装置及方法、曝光装置及方法、及组件制造方法。由于光学特性测量装置(90)中设有光学系统单元(93)，因此可一并测量照明光学系统之照明形状及大小、投影光学系统之波面像差、照明光之偏振状态。因此，例如在以变形照明之一种的偏振照明进行曝光时，只要根据该测量结果调整各种光学系统，即可实现高精度的曝光。其中，该光学系统单元(93)将用以使照明光通过的开口部(97)、用以测量波面像差之微透镜阵列(98)、用以测量照明光之偏振光检测系统(99)选择性地配置于照明光之光路上。

主权项

1.一种光学特性测量装置，用以测量受检光学系统的光学特性，其特征在于，具备：入射光学系统，透过所述受检光学系统的光入射；光学单元，具有第1光学系统和第2光学系统，该第1光学系统为了测量所述受检光学系统的光学特性中的第1光学特性，而将入射至所述入射光学系统的所述光转换成第1测量光，该第2光学系统为了测量所述受检光学系统的光学特性中的第2光学特性，而将入射至所述入射光学系统的所述光转换成第2测量光；以及感光器，用以感光所述第1测量光及所述第2测量光的至少一个。