[发明专利]在光学定位设备中的斑纹大小和传感器尺寸的测量有效
| 申请号： | 200580024624.6 | 申请日： | 2005-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN1989389A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | C·B·卡利斯尔;J·I·特里斯纳迪;C·B·罗克斯洛;D·A·莱霍蒂 | 申请（专利权）人： | 硅光机器公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 龚海军;王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一个实施例涉及一种光学位移传感器，用于通过确定在连续的帧中光学特征的位移检测数据输入设备相对于一个表面的横向位移。这个传感器包括：至少一个相干光源(306)、照明一部分所说表面(304)的照明光学装置(308)、成像光学装置(310)、和具有周期距离的第一光敏元件阵列(302)。将照明器和检测器配置成可在第一光敏元件阵列(302)上产生从表面的照明部分反射的光的强度图案。强度图案包括多个斑纹，斑纹的平均斑纹直径在所说阵列(302)的周期距离的二分之一和2倍之间。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 定位 设备 中的 斑纹 大小 传感器 尺寸 测量 | ||
【主权项】：
1.一种光学位移传感器，用于通过确定在连续的帧中光学特征的位移检测数据输入设备相对于一个表面的横向位移，这个传感器包括：具有相干光源并照明一部分的所说表面的照明器；具有成像光学装置和具有周期距离的至少一个第一光敏元件阵列的检测器；其中，将照明器和检测器配置成可在第一光敏元件阵列上产生从被照明的表面部分反射的光的强度图案，其中，强度图案包括多个斑纹，斑纹的平均斑纹直径在所说阵列的周期距离的二分之一和2倍之间。
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