[发明专利]具有中间图像的反射折射投影物镜有效
| 申请号： | 200580023994.8 | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1985206A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | A·多多克;W·乌尔里希;A·埃普勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 龚海军;张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种反射折射投影物镜，用于将布置在投影物镜的物面上的图案成像在投影物镜的像面上，具有用于物场的成像以形成第一真实的中间图像的第一物镜部分，利用来自第一物镜部分的辐射产生第二真实的中间图像的第二物镜部分；以及将第二真实的中间图像成像在像面上的第三物镜部分。第二物镜部分是具有凹面镜的反射折射物镜部分。提供沿凹面镜的方向偏转来自物面的辐射的第一折叠式反射镜和沿像面的方向偏转来自凹面镜的辐射的第二折叠式反射镜。在接近于第一中间图像的场的区域中，具有正折射本能的场透镜布置在第一中间图像和/或第一折叠式反射镜和凹面镜之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 中间 图像 反射 折射 投影 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种反射折射投影物镜，用于将布置在投影物镜的物面上的图案成像在投影物镜的像面上，具有：用于物场的成像以形成第一真实的中间图像的第一物镜部分；利用来自第一物镜部分的辐射产生第二真实的中间图像的第二物镜部分；以及将第二真实的中间图像成像在像面上的第三物镜部分；其中第二物镜部分是具有凹面镜的反射折射物镜部分；提供沿凹面镜的方向偏转来自物面的辐射的第一折叠式反射镜和沿像面的方向偏转来自凹面镜的辐射的第二折叠式反射镜；和具有正折射本能的场透镜，在接近于第一中间图像的场的区域中，具有正折射本能的场透镜布置在第一中间图像和凹面镜之间。
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