[发明专利]驱动源及移动式搬运机器人

摘要

本发明具备用于安装在能够使内部为真空气氛的筐体内的基座构件。在该基座构件上设置隔开大气气氛和真空气氛的隔壁，并且在基座构件上的不同于转动构件的部位设置驱动源的转动部分即转动构件。由于在该隔壁的大气气氛侧设有作为尘埃的产生源的电枢，所以能够确保真空气氛侧的高净化度。另外，通过将该隔壁和转动构件设置在不同的部位，可不考虑隔壁用于支承转动构件的刚性，能够减薄隔壁的厚度。另外，能够减少转动构件的转动造成的振动或惯性所产生的挠曲带来的影响，与现有的结构相比，缩短了从电枢到转动构件所具备的磁铁的间隔。由此，能够获得高的停止位置精度。

主权项

1.一种驱动源，其具有：设置于筐体的基座构件；从所述基座构件朝向所述筐体的内侧设置的固定轴；与所述固定轴同轴状配置的转动构件；以所述固定轴为中心支承所述转动构件并确保其旋转自如的轴承；与所述固定轴同轴状配置的定子；配置于所述转动构件且与所述定子对置的转子；和隔壁构件，其在所述定子和所述转子之间与所述固定轴同轴状设置，且隔开所述筐体外的大气气氛和所述筐体内的真空气氛，该驱动源的特征在于，具有在所述固定轴的外侧与所述固定轴同轴状设置的外周构件，所述定子配置于所述固定轴的外周或所述外周构件的内周中的任意一方，所述轴承配置于所述固定轴的外周或所述外周构件的内周中的任意另一方，这些定子及轴承在所述固定轴的轴向的相同区域同轴状配置。