[发明专利]频率稳定克服温度漂移的薄膜体声谐振器装置有效
| 申请号： | 200580021290.7 | 申请日： | 2005-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1977449A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | V·劳;Q·马;Q·特兰;D·辛;L·－P·王 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;张志醒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 薄膜体声谐振器(FBAR)包括夹在顶部电极和底部电极之间的压电薄膜。提供温度传感器以检测温度，从而为FBAR确定温度导致的频率漂移。操作上连接到温度传感器的电压控制器提供直流(DC)偏压给FBAR，以引入相反的电压导致的频率漂移，从而补偿温度导致的频率漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 稳定 克服 温度 漂移 薄膜 谐振器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种设备，包括：薄膜体声谐振器(FBAR)，包括夹在顶部电极和底部电极之间的压电薄膜；温度传感器；以及电压源控制器，可操作地连接到所述温度传感器，以在所述FBAR的所述顶部电极和底部电极上施加直流(DC)偏压，从而补偿温度导致的频率漂移。
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