[发明专利]图案形成方法无效
| 申请号： | 200580020670.9 | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1997944A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 高岛正伸;石川弘美;下山裕司 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供一种图案形成方法，所述图案形成方法通过抑制成像于图案形成材料上的像的失真，可以高清晰地、有效地形成布线图案等永久图案，而且使遮盖性和分辨率高度并存。因此，提供一种图案形成方法，所述图案形成方法将至少具有感光层的图案形成材料中的该感光层层叠在被处理基体上后，通过相对于该感光层的任意两个以上的区域，照射能量各不相同的光，进行曝光，通过具有n个接受来自光照射装置的光并射出的描素部的光调制装置，使来自上述光照射装置的光调制后，通过排列好具有可以对由上述描素部中的射出面的变形引起的像差进行矫正的非球面的微透镜的微透镜阵列，进行上述曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，其中，其将至少具有感光层的图案形成材料中的该感光层层叠在被处理基体上后，通过相对于该感光层的任意两个以上的区域，照射能量各不相同的光，进行曝光。
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