[发明专利]主动矩阵电子阵列装置有效

专利信息
申请号: 200580020224.8 申请日: 2005-06-08
公开(公告)号: CN1998083A 公开(公告)日: 2007-07-11
发明(设计)人: P·W·葛林 申请(专利权)人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/84;G02F1/1362;H01L21/336;H01L29/786;H01L21/20
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 张雪梅;王忠忠
地址: 荷兰艾*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 发明提供一种主动矩阵装置,其具有装置元件之一阵列(54),每一装置元件包含至少一个薄膜电晶体(34)。一薄膜导电加热器元件配置(10)提供于该装置之一基板上,且该等薄膜电晶体之半导体岛提供于该加热器元件配置(10)上。该加热配置可保持在该装置中之适当位置处,藉此避免对处理过程中移除该加热器元件配置之层的需要。
搜索关键词: 主动 矩阵 电子 阵列 装置
【主权项】:
1.一种主动矩阵电子阵列装置,其包含装置元件之一阵列(54),每一装置元件包含至少一个薄膜电晶体(34),其中该装置包含:一基板(12);一提供於该基板上之薄膜导电加热器元件配置(10);一提供於该加热器元件配置(10)上之电性绝缘层(16);及界定该等薄膜电晶体并提供於该电性绝缘层(16)上之复数个薄膜层,该等薄膜层包含一半导体层(18),且其中界定该等薄膜电晶体之该半导体层(18)之至少部分系提供於该加热器元件配置(10)上。
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