[发明专利]电沉积处理装置及方法无效
| 申请号： | 200580019981.3 | 申请日： | 2005-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN1968897A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 赤堀晶二;中川创太;堀江拓生 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C02F1/461 | 分类号： | C02F1/461;C25C1/12;C25C7/02;C25C7/04;C25C7/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种电沉积处理装置及方法，其可以将由电沉积产生的处理液中的金属离子浓度降低到能够向外部排放的水平，而且由半导体制造装置产生的废水量即使较多，也能够进行处理。电沉积处理装置具有：阴极(3)，其使被处理水中的金属离子以金属的形态析出；阳离子交换膜(4)，其与阴极(3)相向配置；以及阳极(6)，其通过介入阳离子交换体(5)而被设置为与该阳离子交换膜(4)相对置；其中，将被处理水供给至在阴极(3)和阳离子交换膜(4)之间的空间内。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电沉积处理装置，其特征在于，具有：阴极，其使被处理水中的金属离子以金属的形态析出；阳离子交换膜，其与该阴极相向配置；以及阳极，其通过介入阳离子交换体而被设置为与该阳离子交换膜相对置；其中，将被处理水供给至在所述阴极和所述阳离子交换膜之间的空间内。
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