[发明专利]化学放大型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法有效
| 申请号： | 200580018940.2 | 申请日： | 2005-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN1965265A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 新堀博 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F212/14;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，含有在酸的作用下碱溶性发生变化的树脂成分(A)、和因曝光而产生酸的产酸剂成分(B)，还含有沸点为220℃以上的高沸点溶剂成分(X)。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型抗蚀剂组合物，含有在酸的作用下碱溶性发生变化的树脂成分(A)、和因曝光而产生酸的产酸剂成分(B)，其中，含有沸点为220℃以上的高沸点溶剂成分(X)。
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