[发明专利]含水的边胶清除剂无效
| 申请号： | 200580018495.X | 申请日： | 2005-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN1965269A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | R·R·达米尔;S·迈耶;M·A·斯帕克 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 邓毅 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于在表面上布置为薄膜的光刻胶组合物的边胶清除剂组合物，其包含大约0.5－大约8当量浓度的碱性化合物的溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 含水 清除 | ||
【主权项】：
1.用于在表面上布置为薄膜的光刻胶组合物的边胶清除剂组合物，其包含大约0.5-大约8当量浓度的碱性化合物的溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于AZ电子材料美国公司，未经AZ电子材料美国公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580018495.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
