[发明专利]集成电子传感器有效

专利信息
申请号: 200580017844.6 申请日: 2005-03-30
公开(公告)号: CN1961209A 公开(公告)日: 2007-05-09
发明(设计)人: 蒂莫西·卡明斯 申请(专利权)人: 蒂莫西·卡明斯
主分类号: G01N27/22 分类号: G01N27/22;G01N27/12
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王英
地址: 爱尔兰*** 国省代码: 爱尔兰;IE
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摘要: 一种集成传感器及其制造所述器件的方法,该器件包括在半导体衬底中的MOS电路,具有互连导体和绝缘电介质的互连级,所述级在衬底上并互连MOS电路,互连级包含具有嵌入互连电介质中的电极的传感器,以及MOS电路包括用于处理来自传感器电极的信号的处理器。
搜索关键词: 集成 电子 传感器
【主权项】:
1、一种集成传感器器件,包括:在半导体衬底中的MOS电路,具有互连导体和绝缘电介质的互连级,所述级在该衬底上并对所述MOS电路进行互连,所述互连级包含具有嵌入该互连电介质中的电极的传感器,并且所述MOS电路包括用于处理来自该传感器电极的信号的处理器。
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