[发明专利]集成电子传感器有效
申请号: | 200580017844.6 | 申请日: | 2005-03-30 |
公开(公告)号: | CN1961209A | 公开(公告)日: | 2007-05-09 |
发明(设计)人: | 蒂莫西·卡明斯 | 申请(专利权)人: | 蒂莫西·卡明斯 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22;G01N27/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王英 |
地址: | 爱尔兰*** | 国省代码: | 爱尔兰;IE |
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摘要: | 一种集成传感器及其制造所述器件的方法,该器件包括在半导体衬底中的MOS电路,具有互连导体和绝缘电介质的互连级,所述级在衬底上并互连MOS电路,互连级包含具有嵌入互连电介质中的电极的传感器,以及MOS电路包括用于处理来自传感器电极的信号的处理器。 | ||
搜索关键词: | 集成 电子 传感器 | ||
【主权项】:
1、一种集成传感器器件,包括:在半导体衬底中的MOS电路,具有互连导体和绝缘电介质的互连级,所述级在该衬底上并对所述MOS电路进行互连,所述互连级包含具有嵌入该互连电介质中的电极的传感器,并且所述MOS电路包括用于处理来自该传感器电极的信号的处理器。
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