[发明专利]用于固体化学制品持续蒸汽发送的起泡器

摘要

本发明涉及用于固体化学制品持续蒸汽发送的起泡器。一种起泡室组件，包括一个室或两个或多个串联的室，所有室都基本垂直取向。在该一个室或多个室中具有化合物的固态或液态源。所述一个室或多个串联的室沿所述载气穿过该一个室或多个室的流动方向的长度或总长与该一个室或多个室沿所述载气穿过该一个室或多个室的流动方向的横截面的平均直径相当值之比不小于约6∶1。

主权项

1.一种用于在化学气相沉积工艺过程中提供汽化化合物的起泡器，该起泡器包括：(a)具有进口和出口的起泡室组件；(b)与进口连接并用于向化合物提供惰性载气的装置；(c)与出口连接、用于从起泡室组件移除汽化化合物和载气、并将该化合物发送到化学气相沉积工艺过程的装置；以及(d)起泡室组件处于其中的温度控制装置，该装置使化合物汽化到所述载气中；所述起泡室组件包括一个室或两个或多个串联的室，所有室都基本垂直取向，在这些室中具有所述化合物的固态或液态源，所述一个室或多个串联的室沿所述载气穿过该一个室或多个室的流动方向的长度或总长与该一个室或多个室沿所述载气穿过该一个室或多个室的流动方向的横截面的平均直径相当值之比不小于约6∶1。