[发明专利]抛光垫有效
| 申请号： | 200580015220.0 | 申请日： | 2005-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN101022918A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 吉恩·范格尼斯;奥斯卡·凯·其·许;阿拉卡·波特尼斯 | 申请（专利权）人： | 因诺派德有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24D11/00;C09K3/14;B32B25/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李剑 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了在可选地含有研磨颗粒的浆液的存在下抛光半导体衬底和其它平面衬底的改进的抛光垫。此抛光垫包含非织造纤维组分，其部分可选地包含双组分纤维，可选地包埋在聚合物粘结剂中。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
1.用于抛光衬底的垫，包含：包含基本重量为约100-2500g/m2的针织非织造纤维织物第一组分和包含聚合物基体组分的第二组分，所述纤维组分分布在所述聚合物基体组分中，其中所述垫的特征在于其肖氏D硬度为约10-70D，所述纤维织物以约10-90wt％的水平存在。
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