[发明专利]具有快速气体切换能力的气体分配系统

摘要

本发明提供一种用于向腔室、诸如等离子处理设备的等离子处理腔室中供应不同气体组分的气体分配系统。气体分配系统可包括气体供应部件、流动控制部件和开关部件。气体供应部件提供第一和第二气体、通常为气体混合物至流动控制部件，流动控制部件控制第一和第二气体到腔室的流动。腔室可包括多个区域，而流动控制部件可以所需的气体流动速率供应第一和第二气体至多个区域。气体分配系统可连续供应第一和第二气体至开关部件，而开关部件可操作地切换第一和第二气体流动，使得第一和第二处理气体中的一种被供应至腔室，而另一种气体被供应至旁通管线，并然后切换气体流动。开关部件优选包括快速开关阀门，其可操作地快速地打开和关闭从而允许第一和第二气体的快速切换，优选在任一种气体流动时不出现不期望的压力波动或流动不稳定性。

主权项

1.一种用于供应气体至真空腔室的气体分配系统，包括：第一气体通道和第二气体通道，用于与第一气体管线流体连通；第三气体通道和第四气体通道，用于与第二气体管线流体连通，其中所述第一和第三气体通道适于供应气体至真空腔室，而所述第二和第四气体通道适于供应气体至旁通管线；沿所述第一气体通道设置的第一快速开关阀门；沿所述第二气体通道设置的第二快速开关阀门；沿所述第三气体通道设置的第三快速开关阀门；沿所述第四气体通道设置的第四快速开关阀门；所述第一和第四快速开关阀门适于接收信号以在所述第二和第三快速开关阀门关闭期间打开，以便第一气体经第一气体管线和第一及第三气体通道供应到真空腔室，而第二气体经第二气体管线和第二及第四气体通道供应到所述旁通管线；并且所述第二和第三快速开关阀门适于接收信号以在所述第一和第四快速开关阀门关闭期间打开，以便第二气体经第二气体管线和第三气体通道供应到真空腔室，而第一气体经第一气体管线和第二气体通道供应到所述旁通管线。