[发明专利]抗蚀图案的形成方法及复合冲洗液有效
| 申请号： | 200580012685.0 | 申请日： | 2005-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1947065A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 越山淳;胁屋和正;金子文武;宫本敦史;田岛秀和;泽田佳宏 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供基于与目前防止图案崩溃的方法完全不同的原理的冲洗处理，不损害需要形成的图案的物性，制造高品质的制品的方法，该方法是对设置于基板上的光致抗蚀剂层实施成像曝光后，进行显影处理形成抗蚀图案的方法，其中，在显影处理后，对抗蚀图案表面上的接触液，进行使接触角降低为40度以下的处理，以及随后的使其上升为70度以上的处理后，进行干燥，形成抗蚀图案的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 复合 冲洗 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀图案形成方法，该方法是对设置于基板上的光致抗蚀剂层实施成像曝光后，进行显影处理形成抗蚀图案的方法，其中，在显影处理后，进行使与抗蚀图案表面上的接触液的接触角降低为40度以下的处理以及随后的使其上升为70度以上的处理，然后进行干燥。
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