[发明专利]用于形成微阀的选择性接合

摘要

披露了一种用于形成微机械加工装置的方法，其包括设置第一硅层和第二硅层。蚀刻一部分第二硅层，以形成滑动部和层部。滑动部可相对于层部移动。一部分第一硅层涂覆有大小和形状与滑动部的大小和形状相应的覆层材料。第一硅层然后置于第二硅层之上，以使第一硅层的涂覆部分大致与第二硅层的滑动部对准。执行接合操作以将第一硅层接合到第二硅层上。覆层材料在接合操作过程中将滑动部与第一硅层隔开，以防止滑动部与第一层接合。也可通过利用只是在与覆层材料相邻的区域增强或导致接合的覆层材料来选择性地涂覆第一硅层的部分来实施该方法覆层。也可采用混和工艺，即，一种材料置于第一硅层的部分上以防止接合，第二种材料置于第一硅层的其他部分上以增强或导致接合。

主权项

1、一种通过将多层材料选择性地接合来制造微机械加工装置的方法，包括：a)设置第一层材料；b)设置第二层材料；c)在第一层的第一部分上设置覆层；以及d)将第一层和第二层相互接合，以形成微机械加工装置，该覆层可有效地防止涂覆部分与第二层接合。