[发明专利]用于多状态干涉光调制的方法和设备

摘要

本发明提供一种多状态光调制器，其包含一第一反射体104。一第一电极142定位在离开所述第一反射体104一距离处。一第二反射体14定位于所述第一反射体104与所述第一电极142之间。所述第二反射体14可在一未驱动位置、一第一驱动位置与一第二驱动位置之间移动，其中每一位置与所述第一反射体104具有一相应距离。在一个实施例中，所述光调制器具有闭锁电极17和143，其将所述光调制器保持在一驱动状态中。在另一实施例中，闭锁电极17和143用于改变所述光调制器的致动和释放阈值。

主权项

1.一种光调制器，其包含：一可移动反射体，其包含一导电材料，所述可移动反射体定位于第一与第二电极之间，所述可移动反射体可在一未驱动位置、一第一驱动位置与一第二驱动位置之间移动，其中所述第一驱动位置比所述未驱动位置离所述第一电极更近，且其中所述第二驱动位置比所述未驱动位置离所述第一电极更远；至少一个第三电极，其邻近所述第一电极；和至少一个第四电极，其邻近所述第二电极。